臺式掃描電鏡

一、SS-60臺式掃描電鏡技術特點：

（1）放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000x）

（2）采用二次電子和背散射電子探測器（可選）（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector optional）

（3）1KV~30KV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30Kv，High image resolution）

（4）通過選配EDS可進行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）

（5）冷卻臺的安裝可在無前處理情況下對水分取樣分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)

（6）高/低真空配置縮短前處理過程（High&Low Vacuum System）

（7）CCD攝像頭的安裝可對載物臺內部觀察（The CCD camera is mounted to view the inside of the stage）

（8）Tilt（0~45）載物臺配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）

二、特性：

（1）臺式掃描電鏡,體型小巧,占用空間小；

（2）強大的軟件功能,單窗口操作界面讓用戶操作方便簡單；

（3）軟件實現檢測圖形實時存儲；

（4）掃描電鏡產品結構設計簡潔,易于維護及保養；

（5）自動平臺采用中心定位模式,迅速定位待測樣品；

（6）高低壓真空設計,可調式電壓,為不同樣品提供更合適的檢測環境。

三、主要參數：

主體參數

1.分辨率：15nm (30kV, SE Image)

2.放大倍率：20~60,000 X

3.加速電壓：1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

圖像檢測

1.背散射電子圖像(BSE)-Backscattered Electron Image

2.二次電子圖像-(SE)-Secondary Electron Image

觀察模式

1.Standard Mode 標準模式

2Charge-up reduction mode 遞減模式

電子槍系統

1、燈絲類型：預對中鎢燈絲

2、偏壓系統：自動偏壓方式

3、電子槍校正：手動方式

透鏡構成

1、聚光鏡：2段式磁線圈透鏡

2、物鏡：1段式磁線圈物鏡

3、探測器類型：SE Detector/ BSE Detector

4、載物臺系統：手動

5、載物臺移動：3軸手動

6、圖像偏移：Image shift X, Y Image Shift (±150um)

7、*樣品尺寸：高度40mm時直徑80mm

8、圖像掃描：

快速掃描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速掃描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

圖片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

圖片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

圖片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

9、*自動功能：自動啟動，自動聚焦，自動亮度對比度調節

10、圖像存儲格式：BMP, JPEG, PNG,TIFF

11、*數據顯示：放大倍率，探測器類型，電壓，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等

12、真空系統：

高真空模式

（旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min

（渦輪式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

抽真空時間：3分鐘以內

四、環境要求：

1、附近不要有電梯電磁干擾和有震動的設備，不要有水源，220V穩壓，50Hz
2、環境不要震動和磁干擾，溫度25左右，濕度60以下